溅射蒸镀膜仪

产品名称

TOB-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

产品型号

TOB-1100X-SPC-16C

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：不需要

主要参数

1、靶：Ø50mm

2、样品台：Ø50mm

3、真空室：Ø160mm×110mm

4、真空度：4×10-1mbar-2×10-2mbar

5、极限电流：50mA

6、可设定极限时间：9999s

7、极限电压：1600V  DC可调

8、真空泵：4L两级机械旋转泵，极限真空2×10-2mbar（也可选配国产分子泵）

9、产品规格：

·尺寸：L400mm x W310mm x H390mm

·重量：50 kg